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產(chǎn)品中心YUSEETECH自營品牌域勢真空計加熱型域勢科技電容金屬薄膜真空計
產(chǎn)品簡介
域勢科技電容金屬薄膜真空計（加熱型）采用單側(cè)雙電極差分電容設(shè)計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | 域勢科技 | 量程 | 0.1333至1333mbar |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,汽車及零部件 |
域勢科技電容金屬薄膜真空計（加熱型）
加熱型電容金屬薄膜真空計采用單側(cè)雙電極差分電容設(shè)計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度，響應(yīng)迅速，性能穩(wěn)定，抗腐蝕性強(qiáng)，提供從45℃至120℃多個恒溫版本，0.1Torr至1000Torr全系列滿刻度范圍，具有優(yōu)秀的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子、高危材料純化等精確總壓測量與控制的理想之選。
DMG100系列壓力傳感器具有恒溫故障和設(shè)備故障繼電器輸出功能。
優(yōu)點
1.恒溫型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器
l高靈敏度
l高精度和重復(fù)性
l長期穩(wěn)定性高
2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金
l不依賴氣體，測量結(jié)果與氣體成分無關(guān)
l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用
l真空計材料對過程無污染
3. 輸出信號豐富
l易于集成，接口豐富，滿足各種系統(tǒng)集成需求
l獨立的Type C 診斷、調(diào)試、配置接口
4.故障輸出功能/壓力觸發(fā)輸出功能
l通過繼電器輸出：恒溫故障和設(shè)備故障/壓力觸發(fā)信號
域勢科技電容金屬薄膜真空計（加熱型）
技術(shù)參數(shù)
指標(biāo) | 規(guī)格參數(shù) |
滿刻度量程 | 0.1Torr，1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr |
精度 | ≥1Torr±0.25%的讀數(shù)，＜1Torr±0.50%的讀數(shù) |
分辨率 | 0.001%FS |
建議讀數(shù)范圍 | 0.005V to 10V@FS |
建議控制壓力范圍 | 0.05V to 10V@FS |
設(shè)備內(nèi)部溫度選項 | 45℃，80℃，100℃ |
預(yù)熱時間 | 2小時≥1Torr；4小時＜1Torr |
環(huán)境溫度 | 15至40℃@45℃內(nèi)部恒溫 |
觸發(fā)功能 | 可選，兩路單刀雙置開關(guān)，分布可以設(shè)置0.1%~100%FS任意壓力，繼電器容量0.6A@30VDC |
故障輸出功能 | 可選，通過繼電器輸出恒溫故障和設(shè)備故障 |
輸出 | 0-10VDC模擬輸出，＞10K歐姆；RS422輸出（RS485可選） |
電氣連接器 | D-Sub，15腳，針型插座；M8航插，5腳，孔型插座 |
輸入電源 | ±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;峰值40W@100℃，35W@45℃ |
超壓限制 | 45Psia |
暴露于工藝氣體的材料 | 進(jìn)樣管為316L材料，其余均為Inconel和Incoloy合金 |
傳感器響應(yīng)時間 | ≥1Torr 25毫秒；＜1Torr 50毫秒 |
校準(zhǔn)方向 | 默認(rèn)垂直校準(zhǔn)，水平校準(zhǔn)可選 |
內(nèi)部體積 | 5.1ml（不包含進(jìn)樣接口） |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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