PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制真空閘閥（V24系列）

普瑞賽思是高性能真空閥門(mén)等產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)者，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏 FPD、科研、工業(yè)與醫(yī)療等領(lǐng)域。本公司能提供完整的真空閥門(mén)解決方案，包括控壓擺閥、控壓蝶閥、傳輸閥、ATM door、插板閥、快關(guān)插板閥與角閥等，還可為客戶(hù)提供非標(biāo)定制服務(wù)，涵蓋加熱、水冷、特殊涂層表面處理與密封方式、密封材料等方面。

遠(yuǎn)程等離子控制真空閘閥在真空環(huán)境下具備良好的密封性，以確保系統(tǒng)的真空度；可通過(guò)遠(yuǎn)程控制實(shí)現(xiàn)對(duì)閥門(mén)的精確操作，方便在等離子處理等工藝中進(jìn)行自動(dòng)化控制；采用適合等離子環(huán)境的材料，具有較好的耐腐蝕性和抗等離子體侵蝕能力，以保證閥門(mén)在長(zhǎng)期使用過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性等。

特點(diǎn)

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296]

l無(wú)顆粒，提供極其干凈的理想進(jìn)氣室

l硫化門(mén)密封

l50000個(gè)使用壽命周期

l高真空閘閥

l氣動(dòng)執(zhí)行器，雙作用

l智能模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)

選項(xiàng)

l白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化表面處理

l可定制開(kāi)口尺寸

l各種O型圈【Kalrez、Chemraz等】

應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l所有CVD工藝，包括MO、PE、HDP、LP和AP

l太陽(yáng)能工藝制造

l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制真空閘閥（V24系列）

技術(shù)參數(shù)